SiH4硅烷簡(jiǎn)介:
硅烷是強(qiáng)還原劑,與重金屬鹵化物激烈反應(yīng),與氯、溴發(fā)生爆炸性反應(yīng),與四氯化碳激烈反應(yīng)。因此對(duì)硅烷不能使用氟里昂滅火劑。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不與潤(rùn)滑油、脂肪反應(yīng)。對(duì)幾乎所有的金屬無(wú)腐蝕性。有時(shí),玻璃中的堿成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空氣也可發(fā)生爆炸。硅烷廣泛用于硅的外延生長(zhǎng)、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太陽(yáng)能電池,光導(dǎo)纖維,有色玻璃制造等。
商品詳細(xì):
2.1(Flammable Gas)(可燃性氣體) DOT Lable(DOT標(biāo)簽): FLAMMABLE GAS(可燃性氣體) Grsde(級(jí)別):6N Purity(純度):99.9999% Impurity(非組分) Specification(標(biāo)準(zhǔn)) Oxygen(氧)+Argon(氬): ≤0.06ppmv Nitrogen(氮): ≤0.5 ppmv Carbon Dioxide(二氧化碳):≤0.05 ppmv Carbon Monoxide(一氧化碳): ≤0.05 ppmv Helium(氦):≤1 ppmv Water(水):≤0.1 ppmv Hydrogen(氫): ≤20 ppmv Disilane(乙硅烷) ≤0.5 ppmv Disiloxane(二甲硅醚):≤0.05 ppmv C2-C4(碳2--碳4): ≤0.1 ppmv Methane(甲烷): ≤0.05 ppmv Total Chlorosilanes(總氯硅烷): ≤0.1 ppmv 包裝容積重量連接閥門 小鋼瓶 47L 10Kg CGA350 DISS632 Y瓶 440L 120Kg DISS632(手動(dòng))DISS632(氣動(dòng)) 應(yīng)用:在外延生長(zhǎng)技術(shù)中用作硅源、用于低溫二氧化硅CVD、用于氮化硅 CVD。
硅烷注意事項(xiàng):
使用硅烷的工作場(chǎng)所要通風(fēng),保持室內(nèi)空氣干燥。硅烷裝置要嚴(yán)格密封,避免和空氣、水分相接觸,為此,用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換里面的空氣后抽真空,這樣反復(fù)進(jìn)行置換和抽真空,一定要徹底清除系統(tǒng)中的空氣和水分。裝置使用以后,也要用惰性氣體置換清洗系統(tǒng)中的硅烷??梢杂煤ぬ铰┢魈铰?。少量硅烷泄漏時(shí),從氧化硅粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼干燥通風(fēng)良好之處,要遠(yuǎn)離熱源和氯、溴等氧化劑。工作場(chǎng)所要配備足夠的防護(hù)用品及應(yīng)急用品。硅烷無(wú)腐蝕性,可以使用碳鋼、不銹鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐蝕鎳基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、三氟氯乙烯樹脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用鉛、橡膠、脂肪、潤(rùn)滑油、玻璃。凡是可燃性的有機(jī)高分子材料應(yīng)該避免使用。當(dāng)硅烷大量泄漏時(shí)。緊接著就要著火,所以無(wú)法用滅火器滅火。但是可以控制火勢(shì),使火災(zāi)不向周圍蔓延。燃燒時(shí)輻射熱不太高,所以應(yīng)盡可能去關(guān)閉閥門以止住氣體的流出??捎冒籽┦刍蚴巯ɑ?。廢氣可用水或堿吸收,或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之后用專門的過濾器捕捉。儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)溫不宜超過30℃。應(yīng)與易(可)燃物、氧化劑分開存放,切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。密閉操作,局部排風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過專培訓(xùn),嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具(半面罩)。遠(yuǎn)離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
硅烷的應(yīng)用:
高純硅烷跟高純氨氣一起用于生產(chǎn)太陽(yáng)能薄膜電池將硅分子附著于電池表面跟高純乙烯一起用于LOW-E鍍膜玻璃的生產(chǎn)高純硅烷應(yīng)用于大規(guī)模集成電路的外延生長(zhǎng)工藝中用作硅源應(yīng)用于國(guó)防、軍事工業(yè)的研發(fā)、生產(chǎn)硅烷在平板顯示生產(chǎn)中也有重要的用途用于低溫二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD
硅烷操作說明:
用一個(gè)減壓器或獨(dú)立的控制閥安全地從氣瓶?jī)?nèi)釋放硅烷。用單向閥來防止倒流。不要用明火或其它附近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。使用防火花工具。不要試圖對(duì)裝有硅烷的鋼瓶進(jìn)行修理、調(diào)節(jié)或其他改動(dòng)。用氫離子檢測(cè)器監(jiān)測(cè)硅烷的修理和在空氣中的擴(kuò)散,用紅外/紫外監(jiān)測(cè)器監(jiān)測(cè)火災(zāi) 。所以的監(jiān)測(cè)器都應(yīng)有內(nèi)鎖,一旦發(fā)現(xiàn)問題立即自動(dòng)切斷硅烷氣源。如果出現(xiàn)故障或其他操作問題,請(qǐng)立即與最近的分銷商聯(lián)系。硅烷系統(tǒng)中不允許使用填壓閥,只允許使用非填壓的膜閥和波紋管閥。在其分配系統(tǒng)中應(yīng)安裝過流閥或過流開關(guān)。這樣可以在下游管線發(fā)生爆炸時(shí)切斷氣源。這個(gè)開關(guān)閥應(yīng)安裝得離氣源越近越好。如有可能應(yīng)避免單獨(dú)一個(gè)人操作鋼瓶。所有的操作都應(yīng)這樣進(jìn)行,一旦發(fā)生泄漏,處理緊急情況的人員可以立即趕到。監(jiān)測(cè)系統(tǒng)應(yīng)裝備備用或應(yīng)急電源。必須有遙控緊急開關(guān),必要時(shí)可關(guān)閉硅烷氣源。一定不要拉、滾動(dòng)或滑動(dòng)容器。用合適的手推車來移動(dòng)容器,不要試圖抓住氣瓶的蓋子來拎起它。保證氣瓶在使用的全過程中為固定狀態(tài)。不可將工具(如:扳手,螺絲刀,等) 插入閥蓋內(nèi)。否則會(huì)損壞閥門并引起泄漏。一旦鋼瓶與吹掃和鈍化過的系統(tǒng)連接好,應(yīng)緩慢仔細(xì)地打開鋼瓶閥。如果使用者在操作氣瓶閥時(shí)有困難,需停止使用,并與供應(yīng)商聯(lián)系。使用可調(diào)節(jié)的帶扳手來打開過緊或生銹的閥蓋。所有管路和相關(guān)設(shè)備接地。電器設(shè)備必須防火花和防爆。